半導(dǎo)體行業(yè)壓縮空氣CDA檢測 0.1μm particles檢測案例
時(shí)間:2023-11-23 14:19
在半導(dǎo)體行業(yè)中,對壓縮空氣CDA(Clean Dry Air)中的0.1μm顆粒進(jìn)行檢測是非常重要的,以確保半導(dǎo)體制造過程中的潔凈度和質(zhì)量。
半導(dǎo)體制造過程依賴壓縮空氣的參與,直接接觸到產(chǎn)品的產(chǎn)品,潔凈空氣有著嚴(yán)苛的需求,以確保生產(chǎn)出高質(zhì)量的半導(dǎo)體產(chǎn)品,0.1μm顆粒的檢測至關(guān)重要,因?yàn)檫@些微小的顆粒可能會導(dǎo)致半導(dǎo)體器件的缺陷或故障。
檢測方法:用于檢測0.1μm顆粒的現(xiàn)場檢測,需要高精密度的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器,這個(gè)粒徑的激光粒子技術(shù)基本掌握在發(fā)達(dá)國家,國內(nèi)號稱可檢測0.1微米的激光粒子計(jì)數(shù)器,送檢合格率較低。
0.1μm顆粒激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器維護(hù)保養(yǎng)成本也較高,因此半導(dǎo)體工廠在驗(yàn)收,或者產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定時(shí),會委托第三方機(jī)構(gòu)進(jìn)行壓縮空氣潔凈度檢測。
大灣檢測采用進(jìn)口粒子計(jì)數(shù)器,操作人員有著行業(yè)經(jīng)驗(yàn)20年,可正確操作使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。并對檢測異常的情況,可做快速判斷和處理。
半導(dǎo)體行業(yè)中的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和要求,如ISO8573標(biāo)準(zhǔn),以確保檢測的可靠性和一致性。
我們幫助客戶分析檢測數(shù)據(jù),包括如何解釋結(jié)果,如不可能可能的原因,并確定是否符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。