氣溶膠顆粒計(jì)數(shù)器是塵埃粒子計(jì)數(shù)器的一種,可在無塵室空氣和其他受控環(huán)境中快速計(jì)數(shù)和確定污染物顆粒的大小。用戶傾向于將本設(shè)備看作只是一種設(shè)備,當(dāng)按下相應(yīng)的按鈕時(shí),結(jié)果會(huì)滾落。但是,重要的是要了解儀器中的技術(shù),以便了解所生成數(shù)據(jù)的相關(guān)性并將粒子計(jì)數(shù)器的操作置于上下文中。當(dāng)測(cè)量很少量的任何東西時(shí),重要的是要了解操作技術(shù),其好處和局限性。沒有測(cè)量是的,所有都與所采用的測(cè)量技術(shù)有關(guān)。例如,如果用另一種技術(shù)(例如掃描電鏡)測(cè)量顆粒,我們不會(huì)驚訝地得到略有不同的結(jié)果,在某些尺寸下,我們甚至可能會(huì)得到令人驚訝的不同結(jié)果,因?yàn)樵撎囟夹g(shù)所產(chǎn)生的響應(yīng)不同于由粒子計(jì)數(shù)器產(chǎn)生的。
顆粒類型
顆粒的尺寸,形狀和成分范圍非常廣,例如,我們可以測(cè)量的潔凈室中的顆粒,皮膚薄片,硅或金屬或真菌孢子的小塊。來源可能非常廣泛。
粒徑
顆粒的大小以微米(即微米或微米)為單位,即米的百萬分之一(或毫米的千分之一)。在半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)施中,我們現(xiàn)在以10到9米(或毫米的百萬分之一)為單位測(cè)量納米。但是,大多數(shù)閱讀本文的人可能對(duì)與制藥,醫(yī)療保健和醫(yī)療器械行業(yè)相關(guān)的0.5和5μm顆粒更感興趣。
從尺寸上看,可見顆粒大約為50µm(例如,人的頭發(fā)大約為50–150µm),細(xì)菌等不可見顆粒大約在1至15µm之間,而植物孢子和花粉介于兩者之間。在10至100μm左右可見和不可見。
大多數(shù)現(xiàn)實(shí)生活中的粒子在結(jié)構(gòu)上是不均勻的,因此這就提出了如何限定尺寸的問題?向業(yè)內(nèi)人士問:“您如何調(diào)整顆粒大???” 有些人會(huì)說它是基于長(zhǎng)度,其他的是基于體積,以及一些等效的孔尺寸,粒子可以通過該孔。會(huì)有許多不同的答案,可以公平地說,只要它們是合格的,它們都不是錯(cuò)誤的。
粒子通過將污染物粒子產(chǎn)生的信號(hào)響應(yīng)與等效尺寸的乳膠球相匹配來對(duì)粒子進(jìn)行尺寸計(jì)數(shù)。
用戶經(jīng)常查看儀器報(bào)告的尺寸/數(shù)量分布,并將此數(shù)據(jù)視為數(shù)據(jù),而沒有意識(shí)到有許多操作變量,例如物理性質(zhì),折射率,方向等,將在所示尺寸中起作用(因此計(jì)算粒子的尺寸通道)。
使用乳膠球校準(zhǔn)參考標(biāo)準(zhǔn)
通過采樣霧化到HEPA / ULPA級(jí)過濾空氣流中的已知尺寸的單分散(即單一尺寸)聚苯乙烯膠乳球(PSL),對(duì)氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行尺寸校準(zhǔn)。
針對(duì)所使用的每種測(cè)試粒度調(diào)整儀器,并在儀器內(nèi)生成校準(zhǔn)曲線。因此,儀器將來自現(xiàn)實(shí)生活粒子的尺寸響應(yīng)視為等效于完美球形乳膠球,并在一個(gè)特定的尺寸范圍(或通道)中進(jìn)行計(jì)數(shù)。
因此,任何不正確的尺寸設(shè)置不僅會(huì)影響規(guī)定的尺寸,還會(huì)影響分配顆粒的尺寸通道,從而影響數(shù)量分布。
粒子計(jì)數(shù)器如何工作
無論制造商如何,所有常用的潔凈室機(jī)載顆粒計(jì)數(shù)器都遵循光散射原理。本質(zhì)上,這意味著它們利用非常明亮的光源來照射粒子。如今,這種光源是激光二極管。以前使用氣體激光器和“白光”鹵素?zé)襞荨?/font>
這個(gè)非常明亮的光源通過光學(xué)模塊發(fā)光。光學(xué)模塊內(nèi)有鏡子和一個(gè)或多個(gè)光電探測(cè)器。小型真空泵將采樣的空氣吸入激光束。當(dāng)空氣中夾帶的顆粒穿過激光束時(shí),激光與顆粒相互作用并被散射。
術(shù)語“散射”是指光發(fā)生方向變化。這種變化發(fā)生在各個(gè)方向:向前,向后和側(cè)向。圖中的紅線顯示了這一點(diǎn)(見圖1)。
圖1:空氣中夾帶的顆粒穿過激光束時(shí),激光與顆粒相互作用并被散射
圖中的蛤shapes形狀是鏡子。它們是鍍銀的,因此反射面在里面。隨著光的散射,這些反射鏡將其拾取,從而將散射的光聚焦到一個(gè)或多個(gè)光電探測(cè)器上。
光電探測(cè)器將來自每個(gè)粒子的光能爆發(fā)轉(zhuǎn)換為電能脈沖。通過測(cè)量信號(hào)的高度并將其參考校準(zhǔn)曲線,我們可以確定粒子的大小,并通過計(jì)數(shù)脈沖數(shù)可以確定數(shù)量。因此從這一點(diǎn)到將粒子數(shù)分配到尺寸通道中相對(duì)簡(jiǎn)單。
光“散射”是一個(gè)通用術(shù)語,由各種不同的物理現(xiàn)象組成。散射由以下部分組成:
1.反射光–當(dāng)光撞擊粒子并發(fā)生角度偏轉(zhuǎn)時(shí)。
2.折射光–當(dāng)光穿過粒子并且其傳播方向改變時(shí)
3.衍射光–光線靠近粒子并圍繞粒子彎曲。
當(dāng)一定百分比的光能被顆粒保留時(shí),可能還會(huì)有一定程度的吸收,并且在某些情況下,某些類型的顆??赡軙?huì)產(chǎn)生諸如磷光的影響。因此,整個(gè)術(shù)語“散射”由與光有關(guān)的不同物理屬性以及光與粒子的相互作用組成。
因此,光與顆粒的相互作用基本上取決于顆粒組成,其折射率以及該顆粒與背景介質(zhì)之間的差異(即,在無塵室顆粒計(jì)數(shù)器的情況下為空氣)。
在操作中,儀器將其從顆粒信號(hào)獲得的響應(yīng)與由乳膠球產(chǎn)生的校準(zhǔn)曲線進(jìn)行比較。儀器實(shí)際上正在做的是比較該粒子與激光相互作用的響應(yīng),然后將其與某種形態(tài)不明的不規(guī)則粒子而不是空氣中的乳膠球聯(lián)系起來。
因此,儀器本身并不在對(duì)顆粒計(jì)數(shù)和定尺寸,而是對(duì)光的閃爍進(jìn)行計(jì)數(shù)和定尺寸,并將其與空氣中膠乳的類似響應(yīng)聯(lián)系起來。因此,用戶應(yīng)注意,與乳膠標(biāo)準(zhǔn)品相比,具有不同散射響應(yīng)的顆粒尺寸會(huì)更大或更小。
例如,硅粒子由于其高反射率(相對(duì)于乳膠標(biāo)準(zhǔn))而將散射大量光,因此該材料的粒子尺寸會(huì)很大。吸收光或不會(huì)散射太多光的粒子(可能是從熱源產(chǎn)生的粒子)相對(duì)于乳膠標(biāo)準(zhǔn)尺寸較小。因此,我們不在這里查看絕對(duì)值。這些尺寸差異(與乳膠標(biāo)準(zhǔn)品不同)可能會(huì)將顆粒分配到更大或更小的通道中。
粒子穿過激光束時(shí)的方向也會(huì)影響其大小。在一個(gè)例子中,如果我們對(duì)穿過光學(xué)模塊的棒狀顆粒進(jìn)行采樣,以使整個(gè)長(zhǎng)度都暴露在激光束中,則光將撞擊表面積并散射相對(duì)大量的光。如果它穿過激光束末端,它將從橫截面散射,因此大小將變成小顆粒。
結(jié)論
粒子計(jì)數(shù)器做得很好是讓用戶可以獲取即時(shí)樣本,并獲得有關(guān)房間內(nèi)或關(guān)鍵過程中粒子負(fù)載情況的很好的實(shí)時(shí)指示。替代方法,例如使用過濾器,泵和顯微鏡,既費(fèi)時(shí),主觀又費(fèi)力。在無塵室生產(chǎn)環(huán)境的開發(fā),操作和改進(jìn)中,這種類型的儀器一直是并且至關(guān)重要且有益的。它速度快,定義明確且無主觀性,現(xiàn)代儀器現(xiàn)在非常穩(wěn)定,健壯且易于使用。但是,操作的簡(jiǎn)便性不應(yīng)使用戶對(duì)儀器的操作方式以及所生成數(shù)據(jù)的實(shí)際含義的理解蒙上陰影。