半導(dǎo)體電子行業(yè)壓縮空氣 particle檢測需滿足什么
時(shí)間:2023-11-23 13:55 點(diǎn)擊次數(shù):
半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室等制造、科研產(chǎn)業(yè)對潔凈度的要求愈發(fā)嚴(yán)格,對氣源及氣體管路的檢測規(guī)格有了更高的要求。低濃度雜質(zhì)將導(dǎo)致合格頻率下降,高濃度雜質(zhì)可能導(dǎo)致批量產(chǎn)品報(bào)廢、損壞設(shè)備、引起安全事故。
particle直觀破壞:
固體顆粒將破壞電子產(chǎn)品的表面。視覺缺陷→表面顆粒/埋層顆粒/圖形多余/圖形缺失/劃傷/圖形連條。
particle是造成良率不高的原因之一,尤其在現(xiàn)在的制程越來越小的情況下,若管路中含有過多的particle,會(huì)造成晶片的良率大大下降。
particle檢測達(dá)標(biāo)要求:
被測氣體中0.1-0.3微米的顆粒總數(shù)≤35且連續(xù)測量至少3次全部達(dá)標(biāo)。
塵埃粒子檢測設(shè)備:選擇0.1微米的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
(1)先將待測管路預(yù)吹1小時(shí)以上;
(2)將待測管路銜接至particle count儀進(jìn)氣端;
(3)打開電源,預(yù)熱數(shù)分鐘,并將出氣閥門打開;
(4)開始測試,若合格,當(dāng)即將測試結(jié)果打印出來;
particle檢測注意事項(xiàng):
要連續(xù)3min內(nèi)都合格,才是*有效值。在測試過程中,如若遇到檢測數(shù)據(jù)不合格,則當(dāng)次數(shù)據(jù)作廢,重新檢測一次,直至合格。若排除管路原因,數(shù)據(jù)仍不達(dá)標(biāo),則應(yīng)檢查其氣源是否合格。