半導體與微電子潔凈室檢測重點：不留顆粒
時間：2023-11-23 14:12 點擊次數(shù)：
由于其產(chǎn)品的敏感性，用于微電子和半導體應用的潔凈室設施需要嚴格的環(huán)境控制。這些潔凈室還裝有精密和昂貴的設備，例如光刻，蝕刻，清潔，摻雜和切割機。因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都可能影響整個生產(chǎn)過程。微電子和半導體潔凈室概念和設計中的其他常見問題是空間的大化，同時也允許將來進行重新配置。由于所有這些原因，模塊化無塵室系統(tǒng)通常是解決方案。
晶圓廠的潔凈室是其的空間之一，因為在此環(huán)境中進行控制，以消除所有粉塵，這些粉塵經(jīng)振動并保持在狹窄的溫度和濕度范圍內(nèi)。微電子和半導體潔凈室的范圍從100級到100000級，這取決于設施內(nèi)發(fā)生的過程。
半導體與微電子潔凈室符合下列要求：氣密性；紫外線過濾光；不保留顆粒；不擴散污染物。
ISO 8573-1建立了三個粒徑范圍：0.1到0.5微米（微米），0.5到1.0微米以及1.0到5.0微米。同樣，不存在大于5 um的顆粒以符合1-5級純度等級。僅純度等級1和2要求所有三個尺寸范圍。通常，壓縮機或過濾器制造商建議使用過濾器去除顆粒和油脂，隨著半導體級別上升，要測量小至0.1微米的顆粒，需要校準的激光塵埃粒子計數(shù)器。對于許多食品制造商來說，由于可用性和費用，這可能被證明是不切實際的。如果不經(jīng)常采集少量樣品，激光塵埃粒子計數(shù)器可能會很昂貴，但是當存在顆粒污染問題時，激光塵埃粒子計數(shù)器會非常有用。激光粒子計數(shù)器可用于通過現(xiàn)場測試結果快速采樣多個位置，因此是故障排除的理想選擇。
-
煙霧顆粒-0.01-1微米
-
空中細菌-1至10微米
-
灰塵-0.1至100微米
激光塵埃粒子計數(shù)器特點：
快速采樣-您無需整天等待顆粒計數(shù)。尋找一個可以從幾分鐘到幾秒鐘提供快速采樣的粒子計數(shù)器。這將幫助您獲得結果并能夠盡快采取行動。
多種采樣模式-多種采樣模式為您分析房屋的顆粒數(shù)提供了更多選擇。例如，連續(xù)采樣模式不間斷地采樣空氣，而間歇采樣模式則每小時采樣一次空氣。
歷史記錄存儲-一些粒子計數(shù)器可以存儲過去的讀數(shù)以供參考。這有助于獲取過去一天，一個月或一周的平均顆粒數(shù)。歷史記錄還使您可以輕松比較加班次數(shù)并查看空氣質(zhì)量的改善情況。
